Method for creating polishing rate responsiveness profile of workpiece, polishing method, and computer-readable recording medium having program stored thereon

WO2022259913 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022259913
Aktenzeichen: EP22820095
Anmeldetag: 31. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/005B24B37/12B24B37/30B24B49/10B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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