Mask blank, reflective mask, and method for producing semiconductor devices

WO2022259915 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022259915
Aktenzeichen: EP22820097
Anmeldetag: 31. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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