Substrate processing device and method for cleaning substrate processing device

WO2022260474 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022260474
Aktenzeichen: EP22820601
Anmeldetag: 10. Juni 2022
Veröffentlichung: 15. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von