Non-reagent methods and process control for measuring and monitoring halide concentrations in electrodeposition solutions for iron triad metals and their alloys
WO2022260735
Art A1
15. Dezember 2022
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022260735
- Aktenzeichen
- EP22820723
- Anmeldetag
- 21. März 2022
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C25D21/12C25D3/12C25D3/20C25D21/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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