Gas quench for diffusion bonding

WO2022260839 Art A1 15. Dezember 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022260839
Aktenzeichen
EP22820760
Anmeldetag
19. Mai 2022
Veröffentlichung
15. Dezember 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B23K20/02B23K37/00H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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