Ultra-smooth planarization polishing method and apparatus

WO2022261998 Art A1 22. Dezember 2022

Anmelder: GUANGDONG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY, GUANGDONG NANOGRIND TECHNOLOGY CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022261998
Aktenzeichen: EP21945581
Anmeldetag: 23. Juni 2021
Veröffentlichung: 22. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B24B1/00B24B31/112B24B31/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GUANGDONG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
GUANGDONG NANOGRIND TECHNOLOGY CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Guangdong University of Technology

Die Guangdong University of Technology ist eine chinesische Universität mit technischem und naturwissenschaftlichem Forschungsprofil in Guangzhou. Das Patentportfolio verteilt sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik, anorganische Chemie sowie Mess- und Halbleitertechnik, ergänzt durch Heiz- und Softwaretechnik. Anmeldungen laufen von 2011 bis in die Gegenwart.

337 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von