System and method for adjusting beam current using a feedback loop in charged particle systems

WO2022263153 Art A1 22. Dezember 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022263153
Aktenzeichen: EP22734135
Anmeldetag: 30. Mai 2022
Veröffentlichung: 22. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/24H01J37/065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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