Rare gas recovery system and rare gas recovery method

WO2022264926 Art A1 22. Dezember 2022

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022264926
Aktenzeichen: EP22824916
Anmeldetag: 9. Juni 2022
Veröffentlichung: 22. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C01B23/00B01D53/00F04D19/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS JAPAN LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von