Exhaust pipe, exhaust apparatus, and product attachement preventing method

WO2022265070 Art A1 22. Dezember 2022

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022265070
Aktenzeichen: EP22825058
Anmeldetag: 16. Juni 2022
Veröffentlichung: 22. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31F27D17/00H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS JAPAN LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

Vertreten von