Device and methods for characterization of semiconductor films

WO2022265943 Art A2 22. Dezember 2022

Anmelder: ARIZONA BOARD OF REGENTS ON BEHALF OF THE UNIVERSI 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022265943
Aktenzeichen: EP22825580
Anmeldetag: 10. Juni 2022
Veröffentlichung: 22. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/30G01N27/26H01L21/66H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ARIZONA BOARD OF REGENTS ON BEHALF OF THE UNIVERSI
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Arizona Board of Regents on behalf of the University of Arizona / Arizona State University

US-amerikanisches Hochschulgremium mit Sitz in Arizona, das als Rechtsträger für Patente der öffentlichen Universitäten Arizonas (u.a. Arizona State University, University of Arizona) auftritt. Patente stammen aus universitärer Forschung in unterschiedlichen Fachgebieten.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von