Micro-nano deep trench structure fast measurement method on basis of white light interference

WO2022267687 Art A1 29. Dezember 2022

Anmelder: ZHEJIANG UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022267687
Aktenzeichen: EP22827186
Anmeldetag: 27. April 2022
Veröffentlichung: 29. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ZHEJIANG UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Zhejiang University

Chinesische Universität mit Sitz in Hangzhou, eine der führenden Forschungshochschulen Chinas mit breitem Fächerspektrum einschließlich Ingenieurwissenschaften und Materialforschung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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