Holding device for holding a structural part and method for manufacturing the holding device

WO2022268655 Art A1 29. Dezember 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022268655
Aktenzeichen: EP22737576
Anmeldetag: 17. Juni 2022
Veröffentlichung: 29. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B25B11/00H01L21/67H01L21/683H01L21/687H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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