Messanordnung zur Optischen Vermessung eines Testobjekts

WO2022268793 Art A1 29. Dezember 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022268793
Aktenzeichen: EP22733988
Anmeldetag: 21. Juni 2022
Veröffentlichung: 29. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/00G01N21/55

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von