Charged particle beam device and method for demagnetizing magnetic lens

WO2022269757 Art A1 29. Dezember 2022

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022269757
Aktenzeichen: EP21947044
Anmeldetag: 22. Juni 2021
Veröffentlichung: 29. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/141H01F13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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