Micro Inert Anode Array For die Level Electrodeposition Thickness Distribution Control

WO2022271568 Art A1 29. Dezember 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022271568
Aktenzeichen: EP22829067
Anmeldetag: 17. Juni 2022
Veröffentlichung: 29. Dezember 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C25D7/12C25D17/12C25D5/08C25D5/04C25D21/12C25D5/02C25D17/00H01L21/288H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von