Laser-assisted in-situ mass transfer method and system

WO2023000632 Art A1 26. Januar 2023

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023000632
Aktenzeichen: EP22844806
Anmeldetag: 18. Januar 2022
Veröffentlichung: 26. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23K26/0622B23K26/082

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TSINGHUA UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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