System and apparatus for stabilizing electron sources in charged particle systems

WO2023001480 Art A1 26. Januar 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023001480
Aktenzeichen: EP22738563
Anmeldetag: 23. Juni 2022
Veröffentlichung: 26. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J1/18H01J37/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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