Prozesseinrichtung und Verfahren zum Dosieren eines Prozessgases in eine Prozesskammer einer Prozesseinrichtung

WO2023001569 Art A1 26. Januar 2023

Anmelder: FESTO SE&CO. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023001569
Aktenzeichen: EP22747648
Anmeldetag: 7. Juli 2022
Veröffentlichung: 26. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455G01F11/00C23C16/52

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: FESTO SE&CO. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Festo

Deutsches Unternehmen mit Sitz in Esslingen am Neckar, Hersteller von Automatisierungstechnik, Pneumatik und Fabrikautomation.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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