Systems and methods for silicon microstructures fabricated via greyscale drie with soi release

WO2023003761 Art A1 26. Januar 2023

Anmelder: LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023003761
Aktenzeichen: EP22846434
Anmeldetag: 15. Juli 2022
Veröffentlichung: 26. Januar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/308H01L21/3065H01L21/762H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lawrence Livermore National Security

Lawrence Livermore National Security ist die Betreibergesellschaft des Lawrence Livermore National Laboratory, eines US-Forschungslabors für nationale Sicherheit und Energie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Optik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2002 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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