Control method for discharge excitation type laser device, discharge excitation type laser device, and manufacturing method for electronic device

WO2023007685 Art A1 2. Februar 2023

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023007685
Aktenzeichen: EP21951885
Anmeldetag: 29. Juli 2021
Veröffentlichung: 2. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/136G03F7/20H01S3/139

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von