Composition for chemical mechanical polishing and polishing method

WO2023007938 Art A1 2. Februar 2023

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023007938
Aktenzeichen: EP22849017
Anmeldetag: 30. Mai 2022
Veröffentlichung: 2. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C01B33/149C09G1/02C09K3/14B24B37/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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