Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern forming method and electronic device manufacturing method

WO2023008127 Art A1 2. Februar 2023

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023008127
Aktenzeichen
EP22849192
Anmeldetag
7. Juli 2022
Veröffentlichung
2. Februar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C07D327/06C09K3/00G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20C07D295/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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