Resist auxiliary film composition, and pattern forming method using said composition

WO2023008355 Art A1 2. Februar 2023

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023008355
Aktenzeichen
EP22849416
Anmeldetag
25. Juli 2022
Veröffentlichung
2. Februar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C07C25/02C07C39/19C07C309/06C08F220/18C08F220/28G03F7/039G03F7/11G03F7/20G03F7/26G03F7/40C07C69/54C07C69/675C07C69/708
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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