Member for semiconductor production apparatus and method for producing said member

WO2023008439 Art A1 2. Februar 2023

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023008439
Aktenzeichen
EP22849500
Anmeldetag
26. Juli 2022
Veröffentlichung
2. Februar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/42C04B35/577C04B41/87H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
AGC INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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