Protective coating for nonlinear optical crystal

WO2023009684 Art A1 2. Februar 2023

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023009684
Aktenzeichen
EP22850295
Anmeldetag
28. Juli 2022
Veröffentlichung
2. Februar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01N21/95G01N21/956G01N21/33G02B1/14G03F1/84C30B33/02H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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