Apparatus and method for preparing and cleaning a component

WO2023011849 Art A1 9. Februar 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023011849
Aktenzeichen: EP22747663
Anmeldetag: 8. Juli 2022
Veröffentlichung: 9. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/82G03F7/20B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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