Plasma treatment device
WO2023013437
Art A1
9. Februar 2023
Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023013437
- Aktenzeichen
- EP22852861
- Anmeldetag
- 22. Juli 2022
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46H01L21/3065H01L21/31C23C16/505
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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