Buffer tank, supply block including buffer tank, and gas supply device
WO2023013952
Art A1
9. Februar 2023
Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023013952
- Aktenzeichen
- EP22853330
- Anmeldetag
- 26. Juli 2022
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/448C23C16/44C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Jusung Engineering
Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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