Sic step flow rapid growth method based on growth monomer chemical potential regulation under non-equilibrium condition

WO2023016158 Art A1 16. Februar 2023

Anmelder: XIAMEN UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023016158
Aktenzeichen: EP22855141
Anmeldetag: 11. Juli 2022
Veröffentlichung: 16. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/16C30B25/20C30B29/36H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: XIAMEN UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Xiamen University

Die Xiamen University ist eine chinesische Universität mit breiter naturwissenschaftlicher Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, organische Chemie und Pharma beziehungsweise Biotechnologie, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Kunststofftechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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