Match the aberration sensitivity of the metrology mark and the device pattern

WO2023016752 Art A1 16. Februar 2023

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023016752
Aktenzeichen: EP22754030
Anmeldetag: 15. Juli 2022
Veröffentlichung: 16. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/42G03F1/44G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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