Diffraktives Optisches Element zur Generierung einer Prüfwelle

WO2023016832 Art A1 16. Februar 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023016832
Aktenzeichen: EP22758496
Anmeldetag: 29. Juli 2022
Veröffentlichung: 16. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B9/02056G01B11/24G01M11/00G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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