Composition for removing edge bead of metal-containing resist, and method for forming pattern comprising step of removing edge bead by using same

WO2023018011 Art A1 16. Februar 2023

Anmelder: SAMSUNG SDI CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023018011
Aktenzeichen
EP22856013
Anmeldetag
4. Juli 2022
Veröffentlichung
16. Februar 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C11D7/26C11D7/36C11D7/50C11D11/00G03F7/42G03F7/004G03F7/16G03F7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SAMSUNG SDI CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Samsung SDI

Südkoreanisches Unternehmen der Samsung-Gruppe, das Batterien und Energiespeichersysteme für Elektrofahrzeuge, Elektronikgeräte und stationäre Anwendungen entwickelt und produziert.

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