Sputtering machines, substrate holders, and sputtering processes with magnetic biasing

WO2023018758 Art A1 16. Februar 2023

Anmelder: VIRGINIA COMMONWEALTH UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023018758
Aktenzeichen: EP22856532
Anmeldetag: 10. August 2022
Veröffentlichung: 16. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/22H01J37/32

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: VIRGINIA COMMONWEALTH UNIVERSITY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Virginia Commonwealth University

Virginia Commonwealth University ist eine staatliche US-amerikanische Universität mit Sitz in Richmond und breitem medizinischem und naturwissenschaftlichem Forschungsprofil. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie organische Chemie, ergänzt um Pharma und Biotechnologie. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von