Imaging Optical Arrangement To Image an Object Illuminated By X-Rays

WO2023020782 Art A1 23. Februar 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, CARL ZEISS X-RAY MICROSCOPY, INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023020782
Aktenzeichen: EP22754098
Anmeldetag: 22. Juli 2022
Veröffentlichung: 23. Februar 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G21K7/00H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
CARL ZEISS X-RAY MICROSCOPY, INC.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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