Substrate transport robot and control method for substrate transport robot

WO2023026917 Art A1 2. März 2023

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023026917
Aktenzeichen: EP22861205
Anmeldetag: 17. August 2022
Veröffentlichung: 2. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von