Compact Gas Separator Devices Co-Located On Substrate Processing Systems

WO2023027927 Art A1 2. März 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023027927
Aktenzeichen: EP22861903
Anmeldetag: 17. August 2022
Veröffentlichung: 2. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/00C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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