Semiconductor structure cleaning device and cleaning method

WO2023029203 Art A1 9. März 2023

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023029203
Aktenzeichen: EP21955732
Anmeldetag: 4. November 2021
Veröffentlichung: 9. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/08H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

2.637 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

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