Actinic ray sensitive or radiation sensitive resin composition, actinic ray sensitive or radiation sensitive film, pattern forming method, electronic device manufacturing method, and compound

WO2023032794 Art A1 9. März 2023

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023032794
Aktenzeichen
EP22864378
Anmeldetag
24. August 2022
Veröffentlichung
9. März 2023
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C08F12/12G03F7/038G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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