Semiconductor substrate and semiconductor thin film deposition apparatus

WO2023033428 Art A1 9. März 2023

Anmelder: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023033428
Aktenzeichen: EP22864932
Anmeldetag: 22. August 2022
Veröffentlichung: 9. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L29/20H01L31/0304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea University Research and Business Foundation

Südkoreanische Einrichtung, die Forschungsprojekte und Technologietransfer der Korea University verwaltet, patentiert Ergebnisse aus universitärer Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin und überführt sie in Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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