System and method for feature signal enhancement using a selectively bonded photoluminescent material
WO2023034129
Art A1
9. März 2023
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2023034129
- Aktenzeichen
- EP22865334
- Anmeldetag
- 26. August 2022
- Veröffentlichung
- 9. März 2023
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01N21/956G01N21/64H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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