Machine vision inspection of wafer processing tool

WO2023034695 Art A1 9. März 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023034695
Aktenzeichen: EP22865682
Anmeldetag: 21. August 2022
Veröffentlichung: 9. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C25D17/00C25D21/12C25D21/10G06N20/00G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung

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