Method and apparatus for determining a beam tail of a focused particle beam

WO2023036911 Art A1 16. März 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023036911
Aktenzeichen: EP22772535
Anmeldetag: 9. September 2022
Veröffentlichung: 16. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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