Drift tube, apparatus and ion implanter having variable focus electrode in linear accelerator

WO2023038814 Art A1 16. März 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023038814
Aktenzeichen: EP22867908
Anmeldetag: 26. August 2022
Veröffentlichung: 16. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H05H9/04H01J37/317H05H7/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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