Using elemental maps information from x-ray energy-dispersive spectroscopy line scan analysis to create process models

WO2023039092 Art A1 16. März 2023

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023039092
Aktenzeichen: EP22868077
Anmeldetag: 8. September 2022
Veröffentlichung: 16. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G05B13/04G05B19/418G06T1/00G06N20/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von