Electroplating apparatus

WO2023040465 Art A1 23. März 2023

Anmelder: ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023040465
Aktenzeichen
EP22868842
Anmeldetag
22. Juli 2022
Veröffentlichung
23. März 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C25D7/12C25D17/00C25D21/00C25D5/48H01L21/02H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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