Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe aus Einkristallinem Silizium und Halbleiterscheibe aus Einkristallinem Silizium

WO2023041359 Art A1 23. März 2023

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2023041359
Aktenzeichen
EP22773609
Anmeldetag
5. September 2022
Veröffentlichung
23. März 2023
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/00C30B29/06C30B33/02H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SILTRONIC AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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