Verfahren zum Bestimmen einer Lage eines Spiegels

WO2023046560 Art A1 30. März 2023

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023046560
Aktenzeichen: EP22786329
Anmeldetag: 15. September 2022
Veröffentlichung: 30. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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