Valve device, fluid control device, fluid control method, semiconductor manufacturing device, and semiconductor manufacturing method

WO2023047754 Art A1 30. März 2023

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023047754
Aktenzeichen: EP22872511
Anmeldetag: 30. Juni 2022
Veröffentlichung: 30. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: F16K1/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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