Method for producing crystal film, and crystal film

WO2023048150 Art A1 30. März 2023

Anmelder: FLOSFIA INC., NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023048150
Aktenzeichen: EP22872902
Anmeldetag: 20. September 2022
Veröffentlichung: 30. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/16C23C16/04C23C16/40C30B23/04H01L21/365

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FLOSFIA INC.
NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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