Methods and formulations for sacrificial bracing, surface protection, and queue-time management using stimulus responsive polymers

WO2023049463 Art A1 30. März 2023

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2023049463
Aktenzeichen: EP22873712
Anmeldetag: 26. September 2022
Veröffentlichung: 30. März 2023
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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